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    真空測量是指用特定的儀器、對某一真空鍍膜設(shè)備空間內(nèi)真空度高低的量度。因此真空測量儀表好壞直接影響設(shè)備正常運(yùn)行。真空計(jì)的種類很多，大體上可分絕對真空計(jì)和相對真空計(jì)兩大類。凡通過測定物理參數(shù)直接計(jì)出氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)稱為絕對真空計(jì)。通過測量與壓強(qiáng)有關(guān)物理量，并進(jìn)行計(jì)算得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)稱為相對真空計(jì)。絕對真空計(jì)精度較高，一般作為標(biāo)準(zhǔn)用，在實(shí)際生產(chǎn)中，大都使用相對真空計(jì)。

    相對真空計(jì)的校準(zhǔn)，可用標(biāo)準(zhǔn)水銀真空計(jì)進(jìn)行對比校準(zhǔn)。在沒有水銀真空計(jì)的條件下，可進(jìn)行滿偏和零位校準(zhǔn)。滿偏校準(zhǔn)是指在大氣壓條件下，把真空計(jì)調(diào)至滿偏，零位校準(zhǔn)是指達(dá)到最高真空度進(jìn)行調(diào)試或用未開封的玻璃真空規(guī)管進(jìn)行校準(zhǔn)（標(biāo)準(zhǔn)為5.5×10－3Pa）。

    在實(shí)際工作中，如何根據(jù)真空鍍膜設(shè)備的要求選用合適的真空計(jì)，按以下幾個(gè)原則選用：
(1)所用真空計(jì)的測量范圍應(yīng)比被測壓力范圍寬1—2數(shù)量級。
(2)對真空計(jì)精確度，重復(fù)性、可靠性的要求應(yīng)滿足工藝要求。
(3)應(yīng)注意真空計(jì)是否與被測氣體種類有關(guān)。
(4)應(yīng)注意真空計(jì)是否有切換功能，讀數(shù)反應(yīng)迅速與否。
(5)應(yīng)注意真空規(guī)管安裝位置和環(huán)境的要求。
(6)真空鍍膜設(shè)備真空計(jì)價(jià)格是否適宜以及該計(jì)是否易于維護(hù)等。

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