先進的電影架構 - 多層膜，納米層，納米復合材料

    野馬真空系統(tǒng)（MVS）具有顯著的經驗，在開發(fā)和制造的產業(yè)規(guī)模PVD沉積室下一代摩擦膜系統(tǒng)，使厚的多層，精細的納米層或納米復合結構。

CSM儀器編號：N.Randall                       多諾霍等（1995）                   魯等人（2005年）

    MVS已策略性地開發(fā)了一個靈活的沉積范圍個別層通常為微米厚（訂購）濺射多層涂層使用，HIPIMS或轉向電弧蒸發(fā)技術，適用范圍廣，要求苛刻的應用，包括侵蝕/耐磨性和增強高速銑削過程能力切削加工。 例子包括金屬/金屬氮化物沉積或金屬氮化物/金屬氮化物和硬涂層+低摩擦面涂架構實現順序要利用適當的沉積源切換期間適當的反應氣體流量的控制開關來實現的架構。

    最近通過精確控制在反應濺射和蒸發(fā)沉積速率從不同的源材料，精確控制基板的旋轉頻率和源材料的反應行為的理解，MVS已另外開發(fā)能力，以一系列精美的共沉積，納米分層（典型的重復周期2-10nm的）結構薄膜，在產業(yè)規(guī)模和傳統(tǒng)工藝相比，沒有生產力的損失。 量身定制，并顯著提高機械（硬度，韌性等），熱和摩擦學性能比傳統(tǒng)的單片結構薄膜，這些薄膜可以表現。

MVS摩擦學系統(tǒng)也可以被配置為提供，通過以往的過渡金屬基陶瓷的硬質材料，而與適當的共價鍵，例如Si 3 N 4或BN氮化物物種的共沉積，制造能力的納米復合結構的硬質涂層的反應沉積。